在半导体、光电测试国产化加速推进的浪潮之下,核心硬件与测试平台的自主研发能力,已经成为高端科学仪器企业的核心竞争力。天恒科仪(苏州)光电技术有限公司长期坚持技术创新布局,持续投入研发资源,围绕探针测试装备、多功能光电测试平台开展专项技术攻关,不断完善自主知识产权体系。

2025 年度,公司重点落地两大自研项目:X 射线探针台的研发与多功能光电测试平台的研发,组建专业研发团队开展全周期技术开发,稳步推进国产精密测试设备的技术迭代。
项目一:X 射线探针台的研发
本项目配套布局多项专利技术,包含一种X射线探针台、一种角度与位置可调的微型探针座两项核心成果。 我们打破设备分立使用的传统模式,直接把 X 射线检测单元集成在探针台本体当中,一台设备即可同步完成X射线微观成像观测与高精度探针电学测试,搭配可调微型探针座实现灵活对位,真正实现原位一体化测试,大幅优化半导体器件的实验测试流程。

项目二:多功能光电测试平台的研发
面向光电器件、半导体功率器件多元化测试需求,打造集成化多功能光电测试平台。项目布局三项专利:一种多功能可调节样品台、一种模块化双温态样品转移与测试平台、一种测试原表转接盒。 本项目设计研发两个台子可以相互独立测温,可控温变温,两个温控台可按需滑移分离或精准靠拢对接。

持续的研发投入,是产品稳定可靠、服务持续升级的底层支撑。从探针台机械结构、精密样品承载机构到测试信号转接部件,天恒科仪坚持关键零部件自研设计,逐步搭建完整的专利技术矩阵,摆脱高端测试设备核心配件对外依赖。
依托自研技术沉淀,公司可为高校科研院所、半导体、新能源、光电行业客户提供半导体参数测试系统、定制化测试方案以及专业化服务,助力国内半导体精密测试装备实现自主可控。
国产科学仪器的突破,离不开长期稳定的研发深耕。未来,天恒科仪将继续保持研发投入节奏,围绕真空射频测试、高低温探针测试、多功能光电测试等方向持续创新,打磨高稳定性、高性价比的国产化精密测试装备,加速高端半导体测试设备国产替代进程。