无掩膜紫外光刻设备_集成系统_产品中心_天恒科仪(苏州)光电技术有限公司

专为实验室科研需求和小批量生产设计，小巧紧凑的设计更适用于实验室环境,具有高直写速度、高分辨率和高对准精度等特点。