系统结构与配置：

• 样品台：2英寸圆形或方形，表面镀金，支持电悬空或背棚电极，漏电精度 ≤100fA

• 屏蔽层：6英寸样品台屏蔽层

• 观察视窗：高透光，直径60mm

• 波纹臂接口：6个测试接口

• 隔振系统：隔振效率 ≥98%

• 探针热锚：样品台与屏蔽保护层一体化设计
  

温控性能：

• 温控范围：80K ~ 400K/600K/800K/1000K（可选）

• 温控分辨率：10mK

• 温控稳定度：±100mK

• 温控回路：双路温控

• 控制软件：全自动控制，支持单点、单段、多段、自定义程序控温，兼容多种测试仪器软件

测试与定位精度：

• 显微精度：3.5微米

• 探针臂位移：XYZ三维行程 75mm×50mm×25mm，位移精度1微米

• 探针针尖可选：1.5/5.0/10.0/20.0微米
  

  
  

电学与光学测量精度：

• 电流测量精度：

• 直流探针：≤100fA

• 开尔文探针：≤10fA

• 电容测量精度：

• 直流探针：≤10fF

• 开尔文探针：≤10fF

• 电脉冲测量精度：≤10nS

• 光脉冲测量范围：200nm ~ 2000nm