iCB系列自动芯片键合设备_工艺制程设备_产品中心_天恒科仪(苏州)光电技术有限公司

ICB系列产品是星空科技自主研发的自动芯片键合设备，可实现芯片与芯片、芯片与晶圆键合。设备具有高精度对准、高精度调平、高精度力控、高精度温控等关键技术，具有键合精度高的优点。

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