iWB系列产品是星空科技自主研发的平面度测量设备，设备采用光谱共焦非接触式无损测量技术，具备高精度对准、高精度测量重复性的优势。同时输出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等测量参数。适用于多种规格芯片和晶圆的平面度测量。
