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工艺制程设备

iFM系列 芯片位置测量设备

iFM系列 芯片位置测量设备

iFM系列 芯片位置测量设备

​iFM系列产品是星空科技自主研发的芯片位置测量设备，产品能够实现高精度测量样品图案位置信息。应用领域:扇出工艺重构晶圆上芯片的位置和MicroLED芯片巨量转移后偏移检测。...
iWB系列 平面度测量设备

iWB系列 平面度测量设备

iWB系列 平面度测量设备

iWB系列产品是星空科技自主研发的平面度测量设备，设备采用光谱共焦非接触式无损测量技术，具备高精度对准、高精度测量重复性的优势。同时输出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等测量参数。适用于多种规格...
iWB系列 平面度测量设备

iWB系列 平面度测量设备

iWB系列 平面度测量设备

iWB系列产品是星空科技自主研发的平面度测量设备，设备采用光谱共焦非接触式无损测量技术，具备高精度对准、高精度测量重复性的优势。同时输出厚度、TTV、BOW、Warp、LTV等测量参数。适用于多种规格...
i3D系列 光学形貌3D检测设备

i3D系列 光学形貌3D检测设备

i3D系列 光学形貌3D检测设备

i3D系列产品是星空科技自主研发的非接触式光学面形检测设备，可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量，适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的检测分析。应用领域:菲涅尔透镜、Pancak...
超级抑制强光相机

超级抑制强光相机

超级抑制强光相机

超级抑制强光相机...
等离子清洗机

等离子清洗机

等离子清洗机

可为几乎所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案,分解由分子级的工艺残留污染物。...
HMDS预处理系统

HMDS预处理系统

HMDS预处理系统

HMDS晶片预处理系统主要用于半导体芯片涂胶前的预处理工艺,去除晶片表面的OH强基,形成HMDS膜,增强涂胶后的附着力,提高光刻质量增加成品率。...
无尘无氧烘箱

无尘无氧烘箱

无尘无氧烘箱

该设备是一种新型工业级洁净干燥设备,采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。...
高精密匀胶机

高精密匀胶机

高精密匀胶机

SMCSpin150i/200i/300i系列精密型匀胶机脱胎于实验室定制机型,它的旋转及控制系统采用定制开发的无刷/同服电机,结构精密,制造严谨。...
高精密程控顶针加热台

高精密程控顶针加热台

高精密程控顶针加热台

加热台是一种用于加热实验室器血或样品的设备,主要用于科研、教学和工业生产中的加热实验。...
光刻材料

光刻材料

光刻材料

l-line光刻胶、负性光刻胶、Remover300系列去胶液...
桌上湿法显影刻蚀设备

桌上湿法显影刻蚀设备

桌上湿法显影刻蚀设备

CDC湿法刻蚀显影机适应丁半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面显影。...