iAB系列自动晶圆键合设备_工艺制程设备_产品中心_天恒科仪(苏州)光电技术有限公司

iAB系列产品是星空科技自主研发的自动晶圆键合设备，能够实现晶圆与晶圆自动键合。设备具有高温高压高真空技术，采用了对准键合一体式设计，无需键合夹具，具有键合精度高、良率高的优势。

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