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iCB系列 自动芯片键合设备

iCB系列 自动芯片键合设备

iCB系列 自动芯片键合设备

jCB系列产品是星空科技自主研发的自动芯片键合设备，可实现芯片与芯片、芯片与晶圆键合。设备具有高精度对准、高精度调平、高精度力控、高精度温控等关键技术，具有键合精度高的优点。...
iAB系列 自动晶圆键合设备

iAB系列 自动晶圆键合设备

iAB系列 自动晶圆键合设备

iAB系列产品是星空科技自主研发的自动晶圆键合设备，能够实现晶圆与晶圆自动键合。设备具有高温高压高真空技术，采用了对准键合一体式设计，无需键合夹具，具有键合精度高、良率高的优势。...
iAS系列 大面积曝光机

iAS系列 大面积曝光机

iAS系列 大面积曝光机

IAS系列产品是星空科技自主研发的创新型整面曝光机，适用于先进封装、MEMS、功率器件和高端显示等方面应用领域：扇出大芯片曝光、封装基板大面积曝光和MicroLED大面板曝光等...
iNS系列 步进纳米压印设备

iNS系列 步进纳米压印设备

iNS系列 步进纳米压印设备

iNS系列步进纳米压印设备具备全自动能力，集成了自动对焦、对准、喷胶、压印、UV固化和缺陷检测，整个工艺制程无需人工干预，大大提高了设备产率。应用领域:微透镜阵列、光波导镜片和玻璃母版制作等。...